随着自动驾驶、人工智能、物联网等技术的快速发展,对芯片性能提出了更高的要求。为了满足这些要求,国内外加快了新制程研发的步伐。尤其是近几年,中国本土晶圆厂及上下游企业合力攻克技术难关,努力补齐本土高端芯片制造能力不足的短板,取得了显著进展,提升了国内半导体产业的核心竞争力。

　　超纯水作为半导体产业链重要一极,在国内半导体走向高端的进程中发挥着至关重要的作用。以高频科技为代表的本土超纯水企业,积极把握我国半导体产业发展机遇,以先进超纯工艺锤炼水质纯度,满足芯片生产用水需求,助力半导体制程技术突破,赋能行业新发展。

　　在电子行业中,不同应用诸如半导体、液晶面板及各种电子元器件对超纯水的要求也各不相同。其中半导体代表了超纯水使用的“最高等级”。而半导体先进制程对杂质的敏感度更是极高,以一个中国在建的12寸先进制程晶圆厂为例,按照美国ASTM标准,超纯水品质要达到以下苛刻的要求:电阻率≥18.20,颗粒掌握核心超纯工艺,助力先进制程提速

　　高频科技作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,致力于为半导体高端制造等行业客户,提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备。

　　据了解,高频科技在超纯水领域深耕二十余年,以科技创新为本,不断突破关键技术壁垒,目前已经积累知识产权成果超50项,发明专利及实用新型专利超30项,软件著作权20多项。高频科技所设计研发的超纯水系统涉及超过18项专业处理工艺环节、8次增压提升,保证产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ的理论极限值,其纯度可达99.9999999999%,以电子级高端品系超纯水为先进制程产品生产提供保障。

　　高频科技超纯水制备标准如下:电阻率(25摄氏度)≥18.24MΩ·厘米;总有机碳小于0.5微克/升;溶解氧小于1微克/升;大于0.05微米的微粒每升小于100个;细菌含量小于1/100毫升;总硅含量小于0.5微克/升;溶解硅含量小于0.3微克/升;硼含量小于0.005微克/升。

　　在半导体制程中,超纯水不仅要求纯净,还要求稳定和可靠。任何水质的波动或变化都可能导致制程的不稳定性和产品的不合格。因此,超纯水的质量控制必须非常严格,包括对水质的监测、调节和维护等方面。如果单纯依靠人工管理,无疑费时费力,同时还难以实现数据驱动决策。基于此,高频科技依托大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维专家模型,为半导体工厂量身定制一体化运维服务体系。借助该系统,半导体企业可以实现常规周期巡检、可预见养护、应急故障处理等,满足全周期运维需求,实现规范管理、降本增效。此体系将逐步实现专家数据化,让企业运维管理更加省事和舒心,同时以数据化提升决策能力和响应速度。

　　半导体产业是国家经济发展的重要支撑,也是科技创新的核心驱动力。在半导体制造过程中,清洗硅片及半导体材料所使用的超纯水,已经成为影响电子元器件产品质量和成品率的关键材料之一。相信高频科技在内的本土超纯水企业,将继续秉持着高度的责任感和使命感,不断提升超纯水技术的研发创新能力,为半导体先进制程的可靠性和稳定性生产提供支持,为半导体产业的“强芯”之路做出新的贡献。